Resumo
Nos últimos anos, um dos principais desafios da indústria eletrônica é desenvolver técnicas de processamento para viabilizar a fabricação de dispositivos microeletrônicos e MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) em materiais semicondutores, com estabilidade térmica e química, para substituir os dispositivos de silício (Si) em ambientes agressivos, como altas temperaturas e radiação inten…