Resumo
Este projeto tem por objetivo principal a obtenção e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (BST), obtidos pela técnica de pulverização catódica reativa (sputtering reativo), visando explorar suas características ferroelétricas na fabricação de microssistemas eletromecânicos (MEMS), mais precisamente, defasadores sintonizáveis, baseados em linhas de transmissão coplanar…