Resumo
Este projeto de pesquisa pretende dar continuidade ao trabalho de desenvolvimento e caracterização de dispositivos ópticos, termo-ópticos, eletro-ópticos e mecano-ópticos usando compostos de silício depositados pela Técnica de Deposição química assistida por plasma (PECVD). Este trabalho vem sendo desenvolvido dentro do departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos da Escola Politécn…