Ar/Cl-2 etching of GaAs optomechanical microdisks fabricated with positive electroresist

Autor(es)

Benevides, Rodrigo ^{[1, 2]} ; Menard, Michael ^[3] ; Wiederhecker, Gustavo S. ^{[1, 2]} ; Mayer Alegre, Thiago P. ^{[1, 2]}

Afiliação do(s) autor(es)

^[1] Univ Estadual Campinas, Gleb Wataghin Phys Inst, Appl Phys Dept, BR-13083859 Campinas, SP - Brazil

^[2] Univ Estadual Campinas, Photon Res Ctr, BR-13083859 Campinas, SP - Brazil

^[3] Univ Quebec Montreal, Dept Comp Sci, Montreal, PQ H2X 3Y7 - Canada

• Tipo de documento: Artigo Científico
• Fonte: OPTICAL MATERIALS EXPRESS; v. 10, n. 1, p. 57-67, JAN 1 2020.
• Citações Web of Science: 0

Resumo

A method to fabricate GaAs microcavities using only a soft mask with an electrolithographic pattern in an inductively coupled plasma etching is presented. A careful characterization of the fabrication process pinpointing the main routes for a smooth device sidewall is discussed. Using the final recipe, optomechanical microdisk resonators are fabricated. The results show very high optical quality factors of Q(opt) > 2 x 10(5), among the largest already reported for dry-etching devices. The final devices are also shown to present high mechanical quality factors and an optomechanical vacuum coupling constant of g(0) = 2 pi x 13.6 kHz enabling self-sustainable mechanical oscillations for an optical input power above 1 mW. (C) 2019 Optical Society of America under the terms of the OSA Open Access Publishing Agreement (AU)

• Processo FAPESP: 12/17765-7 - Nanofotônica em semicondutores do Grupo IV e III-V
• Beneficiário: Gustavo Silva Wiederhecker
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Jovens Pesquisadores
• Processo FAPESP: 16/18308-0 - Optomecânica quântica em microcavidades
• Beneficiário: Rodrigo da Silva Benevides
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Processo FAPESP: 18/15577-5 - Circuitos nanofotônicos não-lineares: blocos fundamentais para síntese de frequências ópticas, filtragem e processamento de sinais
• Beneficiário: Gustavo Silva Wiederhecker
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Jovens Pesquisadores - Fase 2
• Processo FAPESP: 19/01402-1 - Guias de onda acústicos integrados em regime de fônons únicos
• Beneficiário: Rodrigo da Silva Benevides
• Modalidade de apoio: Bolsas no Exterior - Estágio de Pesquisa - Doutorado
• Processo FAPESP: 12/17610-3 - Optomecânica em cristais fotônicos e fonônicos
• Beneficiário: Thiago Pedro Mayer Alegre
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Jovens Pesquisadores
• Processo FAPESP: 18/15580-6 - Cavidades optomecânicas rumo ao acoplamento forte com fótons únicos
• Beneficiário: Thiago Pedro Mayer Alegre
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Jovens Pesquisadores - Fase 2