Filmes de carbono tipo diamante (DLC - Diamond Like Carbon) para aplicações ópticas, aeronáuticas e mecânicas

• Processo: 00/11117-6
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Programa de Apoio à Propriedade Intelectual (PAPI/Nuplitec)
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 2001
• Data de Término da vigência: 31 de maio de 2012
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Telecomunicações
• Pesquisador responsável: Ronaldo Domingues Mansano
• Beneficiário: Ronaldo Domingues Mansano
• Instituição Sede: Escola de Engenharia de São Carlos (EESC). Universidade de São Paulo (USP). São Carlos , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 96/05345-9 - Implementação de microelementos ópticos difrativos, AP.JP
• Assunto(s): Filmes finos Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC) Patentes
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Anti-Abrasivo | Diamond Like Carbon | Diffractive Optics | Dlc | Filmes Finos

Resumo

Nesse trabalho foram desenvolvidos processos de deposição de filmes de carbono tipo diamante (DLC) por sputtering reativo. Utilizando este sistema, poderemos depositar filmes de carbono a baixas temperaturas (<400oC), e a um baixo custo, mesmo em grandes superfícies. Este filme foi inicialmente concebido para aplicações ópticas, como: filtros ópticos e guias de onda ópticos, implementação de elementos ópticos difrativos, camada de proteção química de microdispositivos ópticos em fotoresiste ou polímeros depositados sobre quartzo, vidro óptico e policarbonato (deposição abaixo de 200oC), proteção mecânica contra abrasão de filmes e superfícies ópticas. Posteriormente, verificou-se que este filme também pode ser utilizado em aplicações aeronáuticas e mecânicas, como a proteção de janelas e para-brisa de aeronaves e veículos automotores, proteção do bordo de ataque de asas, melhora do desempenho de ferramentas de corte e abrasão, etc. Os filmes foram obtidos em um sistema de sputtering reativo que utiliza um alvo de carbono, e como gases reativos o metano, o freon. O hidrogênio e o argônio. (AU)

Publicações científicas

(4)

(Referências obtidas automaticamente do Web of Science e do SciELO, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores)

CIRINO‚ GA; MANSANO‚ RD; VERDONCK‚ P.; JASINEVICIUS‚ RG; NETO‚ LG. Diffraction gratings fabricated in DLC thin films. SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY, v. 204, n. 18, p. 2966-2970, 2010. (08/57858-9, 00/10181-2, 00/11117-6)

CIRINO, GIUSEPPE A.; MONTAGNOLI, ARLINDO N.; VERDONCK, PATRICK; NETO, LUIZ G.; THIENPONT, H; MOHR, J; ZAPPE, H; NAKAJIMA, H. Low f-number microlens array fabricated in thick resist. MICRO-OPTICS 2012, v. 8428, p. 9-pg., 2012-01-01. (00/10181-2, 08/57858-9, 00/11117-6)

CIRINO, GIUSEPPE A.; MANSANO, RONALDO D.; VERDONCK, PATRICK; CESCATO, LUCILA; NETO, LUIZ G.. Diffractive phase-shift lithography photomask operating in proximity printing mode. Optics Express, v. 18, n. 16, p. 16387-16405, AUG 2 2010. (00/11117-6, 08/57858-9, 00/10181-2)

CIRINO, G. A.; MONTAGNOLI, A. N.; NETO, L. G.; PAVANELLO, MA; FREIRE, RCS; NAVINER, JF; BONNAUD, O. Process Modeling and Fabrication of Microlens Array in Thick Photoresist. MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES - SBMICRO 2011, v. 39, n. 1, p. 8-pg., 2011-01-01. (00/10181-2, 08/57858-9, 00/11117-6)

Patente(s) depositada(s) como resultado deste projeto de pesquisa