Efeitos de bolhas e de transporte na morfologia de silício corroído anisotropicamente

• Processo: 98/14533-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 1999
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 2001
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: José Roberto Sbragia Senna
• Beneficiário: Alvimar da Silveira Louro
• Instituição Sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Silício
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Corrosao Quimica | Dispositivos Micromecanicos | Silicio | Superficies

Resumo

Será estudada a corrosão química do silício, dependente da orientação cristalográfica, visando o controle e a determinação quantitativa dos efeitos de: bolhas, configuração de fluxo, adição de oxidantes, e proximidade de outros sólidos; em superfícies planas e em cavidades. A superfície do silício será imageada in-situ e em tempo real por microscopia óptica, e caracterizada ex-situ por microscopia óptica, microscopia eletrônica de varredura e perfilometria. Será determinado o efeito das variáveis de processo no surgimento e estabilidade de rugosidade aleatória e de estruturas regulares, como pirâmides, corrugações e degraus. (AU)