Simulação atomística de processos de microfabricação para MEMS

• Processo: 09/06766-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de agosto de 2009
• Data de Término da vigência: 31 de janeiro de 2011
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Marcelo Nelson Páez Carreño
• Beneficiário: Fábio Belotti Colombo
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Sistemas microeletromecânicos Microeletrônica Microfabricação Simulação atomística
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Mems | Microfabricação | Simulação atomística | Microeletrônica

Resumo

O presente projeto de pesquisa está relacionado ao desenvolvimento de um software para simulação/visualização atomística de processos de microfabricação utilizados na fabricação de sistemas micro-eletro-mecânicos (MEMS). Devido à complexidade de operação e fabricação desses dispositivos, que rotineiramente exigem várias etapas de microfabricação, é de grande interesse contar com software para o projeto dos MEMS. Pensando nisso foram desenvolvidos dois softwares para simulação desse processo: simMEMS e autoMEMS. O presente projeto busca ampliar as funcionalidades destes softwares através da adição de um módulo para simulação da deposição e corrosão seletiva de filmes por autômato celular. Também será estudado a viabilidade se implementar ferramentas para análise estrutural e térmica das esturutras resultantes através do método dos elementos finitos.

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

COLOMBO, Fábio Belotti. Desenvolvimento de um software para simulação atomística de processos de microfabricação baseado em autômatos celulares.. 2011. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.