Produção de Dispositivos Magnéticos Microscópicos por Litografia Ótica de Escrita Direta Baseada em Ótica de Campo Próximo

• Processo: 08/09023-5
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de janeiro de 2009
• Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 2009
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Antonio Domingues dos Santos
• Beneficiário: Jeferson Tiago da Silva
• Instituição Sede: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 05/57825-5 - Materiais magnéticos avançados e novas técnicas de caracterização, AP.TEM
• Assunto(s): Magnetismo Dispositivos magnéticos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Dispositivos magnéticos | Litografia ótica | Magnetismo | Magnetorresistência gigante | ótica de campo próximo | Magnetismo e Materiais Magnéticos

Resumo

O objetivo principal deste projeto é o desenvolvimento de uma metodologia de litografia ótica de escrita direta baseada em ótica de campo próximo. Esta metodologia usará como ferramenta principal um microscópio ótico em campo próximo (SNOM) desenvolvido em nosso laboratório. Pretendemos explorar a resolução ótica (~100nm) deste equipamento visando produzir estruturas litografadas na escala (sub-)micrométrica. Para o processo de litografia, usaremos fotorresistes com sensibilidade no violeta e UV próximo.Como aplicação desta metodologia, pretendemos desenvolver sensores magnéticos baseados no fenômeno da magnetorresistência gigante (GMR).