Desenvolvimento de um microsensor de fluxo de massa implementado em silicio.

• Processo: 97/01088-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 1997
• Data de Término da vigência: 30 de setembro de 1999
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Rogério Furlan
• Beneficiário: Roberto Jacobe Rodrigues
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Microfilamentos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Microeletronica | Microfilamentos | Microsensor | Sensor De Fluxo

Resumo

Este projeto visa o desenvolvimento de um micro-sensor de fluxo de massa, para gases. Sensores como este podem ser integrados a micro-dispositivos de controle e ou análise de fluidos que estamos desenvolvendo em colaboração com a Universidade da Pensilvânia. Será definida uma seqüência de processos de fabricação que permita a integração dos sensores de fluxo em micro-canais definidos em silício, utilizando tecnologia de micro-eletrônica. Tais canais serão selados com vidro (''anodic bonding"). O sensor será constituído por 3 filamentos, possivelmente de silício policristalino, sendo que um deles, o intermediário será usado para aquecimento. Pretendemos explorar a utilização de filamentos suspensos integrados em cavidades, fabricados com tecnologia de camada sacrificial. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

RODRIGUES, Roberto Jacobe. Microssensor de vazão implementado em silício.. 1999. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.