Estudo e aplicacao de litografia por feixe de eletrons na fabricacao de estruturas de relevo continuo para utilizacao em microoptica integrada.

• Processo: 99/08365-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2000
• Data de Término da vigência: 30 de setembro de 2001
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Antonio Carlos Seabra
• Beneficiário: Hamilton Fernandes de Moraes Junior
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Litografia Óptica difrativa
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Litografia | Microeletronica | Microlentes | Optica Difrativa

Resumo

As técnicas de fabricação desenvolvidas para microeletrônica são utilizadas em outras áreas de aplicação, como sensores, micromáquinas e elementos microópticos. Em particular, a aplicação dessas técnicas em micro6ptica possibilita o desenvolvimento de elementos que apresentam novas e inusitadas propriedades ópticas e que dificilmente seriam implementados utilizando-se técnicas tradicionais de abrasão e polimento. Este trabalho visa estudar a etapa de litografia por feixe de elétrons para aplicação na fabricação de elementos microópticos planares de relevo continuo (não binário) por escrita direta, sem a utilização de mascaras, o que permite obter microestruturas complexas diretamente a partir da base de dados em computador por meio de uma única etapa de exposição e por meio do processamento adequado. Como principais objetivos deste trabalho temos a formalização teórica da obtenção de relevos contínuos por meio da litografia por feixe de elétrons e a fabricação experimental de microlentes de Fresnel em camadas de resiste espesso. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

MORAES JUNIOR, Hamilton Fernandes de. Estudo e aplicação de litografia por feixe de elétrons na fabricação de estruturas de relevo contínuo para utilização em microóptica integrada.. 2001. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.