| Processo: | 13/17045-7 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Doutorado |
| Data de Início da vigência: | 01 de novembro de 2013 |
| Data de Término da vigência: | 31 de março de 2017 |
| Área de conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação |
| Pesquisador responsável: | Marcos Massi |
| Beneficiário: | Gabriela Leal |
| Instituição Sede: | Instituto de Ciência e Tecnologia (ICT). Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP). Campus São José dos Campos. São José dos Campos , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Sensores Sistemas microeletromecânicos Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC) |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Dlc | DLC dopado | Me-DLC | Mems | Piezoresistividade | Sensores | Processos de Fabricação de dispositivos MEMS |
Resumo Este trabalho contempla o desenvolvimento de sensores piezorresistivos baseados em filmes finos de DLC dopados com diferentes elementos, que possibilitem sua aplicação em ambientes agressivos. Os filmes serão depositados pela técnica de sputtering, com a qual será realizada uma sistemática análise da influência das variáveis de controle do reator de deposição sobre as propriedades dos filmes em estudo. Os filmes que apresentarem valores mais adequados para o propósito deste projeto serão selecionados para que suas propriedades piezorresistivas sejam estudadas, e possam ser usados para a construção de sensores piezorresistivos. | |
| Matéria(s) publicada(s) na Agência FAPESP sobre a bolsa: | |
| Mais itensMenos itens | |
| TITULO | |
| Matéria(s) publicada(s) em Outras Mídias ( ): | |
| Mais itensMenos itens | |
| VEICULO: TITULO (DATA) | |
| VEICULO: TITULO (DATA) | |