Busca avançada
Ano de início
Entree
(Referência obtida automaticamente do Web of Science, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores.)

Influence of spray-pyrolysis deposition parameters on the electrical properties of aluminium zinc oxides thin films

Texto completo
Autor(es):
Martins, Denis E. [1] ; Gozzi, Giovani [1] ; Santos, Lucas Fugikawa [2, 1]
Número total de Autores: 3
Afiliação do(s) autor(es):
[1] Univ Estadual Paulista UNESP, Dept Fis, Ave 24A, 1515, BR-13500970 Rio Claro, SP - Brazil
[2] Univ Estadual Paulista UNESP, Dept Fis, Rua Cristovao Colombo 2265, BR-15054000 Sao Jose Do Rio Preto, SP - Brazil
Número total de Afiliações: 2
Tipo de documento: Artigo Científico
Fonte: MRS ADVANCES; v. 3, n. 5, p. 283-289, 2018.
Citações Web of Science: 1
Resumo

In the current work, we evaluate the influence of the processing parameters on the electrical properties of aluminium zinc oxide (AZO) thin films produced by airbrush spray-pyrolysis deposition technique. Spray-deposited AZO thin-films were produced with Al:Zn molar ratios varying from 0 % (pure ZnO) up to 30 %, using aluminium acetate and zinc acetate as organic precursors and water as solvent. Thermogravimetric analysis (TGA) and infrared spectroscopy (FTIR-ATR) were used to monitor the metal-oxide formation from the organic precursors as a function of the temperature. The results show that a temperature of 400 degrees C is necessary to completely degrade the organic phase and to obtain the desired inorganic metal-oxides films. The electrical properties of the TMOs were evaluated by d.c. current-voltage (IV) analysis using planar thermally evaporated Al electrodes on top of the TMO layer, with different aspect ratios (1/18, 2/9, 5/13, 5/9 and 8/9). The lowest sheet resistance was obtained for AZO films at a molar Al concentration of 5 %. We also observed that, after carrying out a post-annealing treatment (30 mbar, 150 degrees C) the samples presented a decrease on the sheet resistance superior to 60 %, in comparison to the samples before the treatment. (AU)

Processo FAPESP: 13/24461-7 - Estudo da influência do controle de atmosfera no desempenho de transistores de filme fino para aplicações em circuitos transparentes e/ou flexíveis
Beneficiário:Lucas Fugikawa Santos
Linha de fomento: Auxílio à Pesquisa - Regular
Processo FAPESP: 08/57706-4 - Instituto Nacional de Eletrônica Orgânica (INEO)
Beneficiário:Roberto Mendonça Faria
Linha de fomento: Auxílio à Pesquisa - Temático
Processo FAPESP: 17/22018-0 - 2017 MRS Fall Meeting and exhibit
Beneficiário:Lucas Fugikawa Santos
Linha de fomento: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior