Fabricação e caracterização de sensores piezorresistivos baseados em filmes finos de DLC

• Processo: 13/17045-7
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 2013
• Data de Término da vigência: 31 de março de 2017
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Marcos Massi
• Beneficiário: Gabriela Leal
• Instituição Sede: Instituto de Ciência e Tecnologia (ICT). Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP). Campus São José dos Campos. São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Sensores Sistemas microeletromecânicos Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Dlc | DLC dopado | Me-DLC | Mems | Piezoresistividade | Sensores | Processos de Fabricação de dispositivos MEMS

Resumo

Este trabalho contempla o desenvolvimento de sensores piezorresistivos baseados em filmes finos de DLC dopados com diferentes elementos, que possibilitem sua aplicação em ambientes agressivos. Os filmes serão depositados pela técnica de sputtering, com a qual será realizada uma sistemática análise da influência das variáveis de controle do reator de deposição sobre as propriedades dos filmes em estudo. Os filmes que apresentarem valores mais adequados para o propósito deste projeto serão selecionados para que suas propriedades piezorresistivas sejam estudadas, e possam ser usados para a construção de sensores piezorresistivos.

Publicações científicas

(4)

(Referências obtidas automaticamente do Web of Science e do SciELO, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores)

RASIA, LUIZ ANTONIO; LEAL, GABRIELA; KOBERSTEIN, LEANDRO LEO; FURLAN, HUMBER; MASSI, MARCOS; FRAGA, MARIANA AMORIM; FIGUEROAGARCIA, JC; LOPEZSANTANA, ER; FERROESCOBAR, R. Design and Analytical Studies of a DLC Thin-Film Piezoresistive Pressure Microsensor. APPLIED COMPUTER SCIENCES IN ENGINEERING, v. 742, p. 11-pg., 2017-01-01. (13/17045-7, 14/18139-8)

CARDOSO, G. W. A.; LEAL, G.; MASSI, M.; DA SILVA SOBRINHO, A. S.; LIBARDI, J.; IEEE. The influence of aluminum incorporation on the Structural and Electrical Properties of ZnO Thin Films For Applications in Piezoresistive Sensors. 2017 32ND SYMPOSIUM ON MICROELECTRONICS TECHNOLOGY AND DEVICES (SBMICRO): CHIP ON THE SANDS, v. N/A, p. 4-pg., 2017-01-01. (13/17045-7)

LEAL, GABRIELA; CAZALINI, ELISA M.; COSTA, DANIEL S.; CARDOSO, GUILHERME W. A.; MOTTA JUNIOR, JOSE ANDRE; GOMES, MARIANY L. M.; MESSMER, NIGEL R.; BRAZIL, TAYRA R.; GIACOMELLI, VALDERCI J.; REZENDE, MIRABEL C.. The influence of morphological and structural aspects of synthetic graphites used in the aerospace area on their electrical and mechanical properties. MATERIALS RESEARCH EXPRESS, v. 5, n. 10, OCT 2018. (13/17045-7)

LEAL, G.; FRAGA, M. A.; RASIA, L. A.; MASSI, M.. Impact of high N-2 flow ratio on the chemical and morphological characteristics of sputtered N-DLC films. SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, v. 49, n. 2, p. 99-106, FEB 2017. (14/18139-8, 11/50773-0, 13/17045-7)