| Processo: | 00/06570-3 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Mestrado |
| Data de Início da vigência: | 01 de setembro de 2000 |
| Data de Término da vigência: | 31 de agosto de 2002 |
| Área de conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | José Roberto Sbragia Senna |
| Beneficiário: | Enrique Klai de França |
| Instituição Sede: | Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Corrosão dos materiais Corrosão anisotrópica Ultrassom |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Corrosao Quimica Anisotropica | Dispositivos Micromecanicos | Silicio | Ultra-Som |
Resumo Será instalado um processo básico de oxidação úmida para formação de SiO2 usado como máscara em corrosão química anisotrópica do silício. Amostras apropriadamente mascaradas serão corroídas em um reator que permite o uso ou não de ultrassom, além de temperatura e agitação controladas. As máscaras utilizadas permitirão obter os pontos de máximo e mínimo locais do diagrama de velocidade de corrosão em função de direção cristalina. Será determinado o efeito de ultrassom nesse diagrama. (AU) | |
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