Sintese, tratamento e propriedades de filmes amorfos obtidos por pecvd e filamento quente.

Resumo

Propõe-se uma investigação em filmes finos dentro dos seguintes temas: (1) filmes de óxidos de metais de transição; (2) filmes de baixa constante dielétrica; (3) modificação de filmes de polímero por irradiação iônica. Os estudos da parte (1) tratarão do efeito eletrocrômico e do processo de armazenamento de carga em filmes de WOX e MoOX sintetizados pela técnica de filamento quente (HFMOD). A formação de filmes de outros óxidos metálicos por HFMOD e suas propriedades serão investigadas. Na parte (2) se investigará a obtenção de materiais de baixo valor de constante dielétrica (materiais de baixo-K) por PECVD a partir de misturas de gases. Também serão estudados filmes de materiais nanoestruturados, compostos pelas fases silicato e carbono amorfo hidrogenado, promissores como materiais de baixo-K. Finalmente, a parte (3) será dedicada principalmente ao estudo da transformação de polímeros obtidos por PECVD em materiais cerâmicos, em função dos diversos parâmetros da irradiação, tais como energia, fluência e natureza dos íons incidentes. (AU)