Estudo e desenvolvimento de uma tecnologia CMOS-TFT a baixa temperatura

Resumo

Estudar o processo de cristalização em fase sólida para aplicação no processo de fabricação de Transistores de Filmes Finos (TFTs), e desenvolver o processo de fabricação de transistores de filmes finos, canal P, visando sua aplicação na Tecnologia MOS. A tecnologia de fabricação de Transistores de Filmes Finos (TFTs) é amplamente utilizada pela indústria de painéis de cristal liquido. Esta tecnologia pode também ser utilizada na construção de sensores inteligentes como pré-amplificador do sinal captado pelo sensor. A tecnologia de TFTs encontra-se bem desenvolvida para transistores canal N, no entanto, os transistores canal P foram muito pouco estudados, devido às suas características elétricas inferiores em relação aos transistores canal N. Para muitas aplicações é necessário se ter disponível os dois tipos de transistores (canal P e canal N), de modo a possibilitar a utilização da tecnologia CMOS para o projeto de circuitos eletrônicos. (AU)