| Processo: | 19/14949-9 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Programa Equipamentos Multiusuários |
| Data de Início da vigência: | 01 de março de 2020 |
| Data de Término da vigência: | 28 de fevereiro de 2027 |
| Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos |
| Pesquisador responsável: | Edson Roberto Leite |
| Beneficiário: | Edson Roberto Leite |
| Instituição Sede: | Centro Nacional de Pesquisa em Energia e Materiais (CNPEM). Campinas , SP, Brasil |
| Município da Instituição Sede: | Campinas |
| Pesquisadores associados: | Alain André Quivy ; Antonio Riul Júnior ; Carlos César Bof Bufon ; Cecilia de Carvalho Castro e Silva ; Iouri Poussep ; Lucas Fugikawa Santos ; Nicolaas Jacobus Schilde ; Osvaldo Novais de Oliveira Junior |
| Assunto(s): | Propriedades físicas Semicondutores Microfabricação Materiais nanoestruturados Aquisição de equipamentos Equipamentos multiusuários Infraestrutura de pesquisa |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Dispositivos nanométricos | Nanofabricação | Propriedades físicas | Nanofabricação em semicondutores |
| As informações de acesso ao Equipamento Multiusuário são de responsabilidade do Pesquisador responsável | |
| Página web do EMU: | Página do Equipamento Multiusuário não informada |
| Tipo de equipamento: | Processos Físicos - Modificação superfícies – etching - Feixes iônicos Processos Físicos - Litografia - Feixes de elétrons |
| Fabricante: | Fabricante não informado |
| Modelo: | Modelo não informado |
Resumo
As técnicas de Microfabricação (MF) revolucionaram vários setores da sociedade nos últimos 50 anos e estão principalmente associadas à eletrônica e à tecnologia da informação. A MF também é responsável pelo desenvolvimento de novos dispositivos funcionais, como elementos para entrega controlada de medicamentos e biossensores, ambos extremamente relevantes para as indústrias farmacêutica e de produtos médicos, e têm um impacto direto na sociedade. Destacamos também que MF é um vetor essencial para os avanços atuais em fotônica e computação quântica. Da mesma forma, a MF tornou-se indispensável na área de Ciência dos Materiais como um agente transformador, sendo capaz de capturar as novas funcionalidades dos sistemas microscópicos para o mundo macroscópico.O MF pode fornecer padrões complexos de alta qualidade, resolução e alta reprodutibilidade. Devido à necessidade de desenvolvimento de dispositivos com maior densidade de processamento e alta miniaturização, as técnicas de MF evoluíram para técnicas de nanofabricação (NF). O NF tem como principais ferramentas a nanolitografia por feixe de elétrons (eBL) e o feixe de íons (iBL). Estes sistemas são sofisticados microscópios eletrônicos que são modificados e dedicados à tarefa de nanofabricação. A NF já é uma realidade hoje em processadores eletrônicos de alto desempenho e é vital para entender os fenômenos físicos e químicos no nível nanométrico. A compreensão dos aspectos fundamentais do transporte eletrônico em materiais 2D só é possível com o desenvolvimento de estruturas e dispositivos que permitam a injeção e o transporte de elétrons. Neste caso, o uso de técnicas de NF possibilita o desenvolvimento de dispositivos em escala nanométrica. O entendimento dos fenômenos eletroquímicos de transferência de carga e identificação de sítios eletroativos em nível molecular (fundamental para o desenvolvimento de fontes alternativas de energia), exige o desenvolvimento de nanoeletrodos. Este projeto visa montar uma infraestrutura de NF acessível aos pesquisadores paulista e brasileiros. (AU)
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