EMU: infraestrutura multiusuário dedicada à nanofabricação e caracterização de nanodispositivos no LNNano / CNPEM

Resumo

As técnicas de Microfabricação (MF) revolucionaram vários setores da sociedade nos últimos 50 anos e estão principalmente associadas à eletrônica e à tecnologia da informação. A MF também é responsável pelo desenvolvimento de novos dispositivos funcionais, como elementos para entrega controlada de medicamentos e biossensores, ambos extremamente relevantes para as indústrias farmacêuticas e de produtos médicos, e têm um impacto direto na sociedade. Destacamos também que MF é um vetor essencial para os avanços atuais em fotônica e computação quântica. Da mesma forma, a MF tornou-se indispensável na área de Ciência dos Materiais como um agente transformador, sendo capaz de capturar as novas funcionalidades dos sistemas microscópicos para o mundo macroscópico. O MF pode fornecer padrões complexos de alta qualidade, resolução e alta reprodutibilidade. Devido à necessidade de desenvolvimento de dispositivos com maior densidade de processamento e alta miniaturização, as técnicas de MF evoluíram para técnicas de nanofabricação (NF). O NF tem como principais ferramentas a nanolitografia por feixe de elétrons (eBL) e o feixe de íons (iBL). Estes sistemas são sofisticados microscópios eletrônicos que são modificados e dedicados à tarefa de nanofabricação. A NF já é uma realidade hoje em processadores eletrônicos de alto desempenho e é vital para entender os fenômenos físicos e químicos no nível nanométrico. A compreensão dos aspectos fundamentais do transporte eletrônico em materiais 2D só é possível com o desenvolvimento de estruturas e dispositivos que permitam a injeção e o transporte de elétrons. Neste caso, o uso de técnicas de NF possibilita o desenvolvimento de dispositivos em escala nanométrica. O entendimento dos fenômenos eletroquímicos de transferência de carga e identificação de sítios eletroativos em nível molecular (fundamental para o desenvolvimento de fontes alternativas de energia) exige o desenvolvimento de nanoeletrodos. Este projeto visa montar uma infraestrutura de NF acessível aos pesquisadores paulista e brasileiros. (AU)