Production of Microscopic Magnetic Devices by Direct Write Optical Lithography based on Near-Field Optics

• Grant number: 08/09023-5
• Support Opportunities: Scholarships in Brazil - Scientific Initiation
• Start date: January 01, 2009
• End date: December 31, 2009
• Field of knowledge: Physical Sciences and Mathematics - Physics - Condensed Matter Physics
• Principal Investigator: Antonio Domingues dos Santos
• Grantee: Jeferson Tiago da Silva
• Host Institution: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brazil
• Associated research grant: 05/57825-5 - Advanced magnetic materials and new characterization techniques, AP.TEM

Abstract

O objetivo principal deste projeto é o desenvolvimento de uma metodologia de litografia ótica de escrita direta baseada em ótica de campo próximo. Esta metodologia usará como ferramenta principal um microscópio ótico em campo próximo (SNOM) desenvolvido em nosso laboratório. Pretendemos explorar a resolução ótica (~100nm) deste equipamento visando produzir estruturas litografadas na escala (sub-)micrométrica. Para o processo de litografia, usaremos fotorresistes com sensibilidade no violeta e UV próximo.Como aplicação desta metodologia, pretendemos desenvolver sensores magnéticos baseados no fenômeno da magnetorresistência gigante (GMR).