Development and Optimization of Microfabrication Process

• Grant number: 22/15141-8
• Support Opportunities: Scholarships in Brazil - Technical Training Program - Technical Training
• Start date: January 01, 2023
• End date: December 31, 2023
• Field of knowledge: Interdisciplinary Subjects
• Principal Investigator: Felippe Alexandre Silva Barbosa
• Grantee: Melissa Mederos Vidal
• Host Institution: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brazil
• Associated research grant: 18/03474-7 - Nonclassical States of Light on Chip, AP.JP

Abstract

O controle e a otimização de processos de microfabricação são essenciais para a produção de qualquer dispositivo fotônico integrado. Dentre estes processos, os mais importantes são a litografia e a corrosão direcional por plasma. Além destes dois processos, também são importantes as etapas de deposição de filmes finos, preparação das amostras pré-litografia e de caracterização das mesmas durante os diversos estágios de fabricação. Um dos primeiros objetivos deste projeto será acompanhar a instalação da máquina polidora mecânico-química (CMP), comprada com recursos do projeto EMU associado ao auxílio principal, e implementar os primeiros testes na máquina. Outras etapas relevantes serão a de caracterização do índice de refração dos filmes depositados em função da frequência da luz. Estas informações serão usadas simulações dos dispositivos e para outros equipamentos, como o medidor interferométrico de filmes finos. Além destes trabalhos específicos, o bolsista deverá se dedicar integralmente em apoiar os estudantes em todos os processos de microfabricação necessários aos seus respectivos projetos.